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PRODUCT CENTER

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心熱銷產(chǎn)品光學(xué)顯微鏡HEM6000高速掃描電子顯微鏡

高速掃描電子顯微鏡
產(chǎn)品簡介：

高速掃描電子顯微鏡采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時保證了納米級分辨率。

產(chǎn)品型號：HEM6000

更新時間：2024-11-19

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：1553

服務(wù)熱線

4006981718

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品介紹

HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。
采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時保證了納米級分辨率。
高速掃描電子顯微鏡面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

圖像采集速度
10 ns/pixel，2*100 M pixel/s
加速電壓
100 V~6 kV(減速模式) ； 6 kV~30 kV(非減速模式)
分辨率
1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE
視場大小
最大視場1*1 mm2，高分辨微畸變視場32*32 um2
樣品臺精度
重復(fù)定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um
高速掃描驅(qū)動器

駐點時間10 ns/pixel，

最快采集速度2*100 M pixel/s

電子過濾系統(tǒng)

SE/BSE信號自由切換，

MIX成像信號比例可調(diào)

全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)

可實現(xiàn)高分辨大場模式，

4 nm像素點最大視場達32*32 um2

樣品臺減速技術(shù)

降低入射電子落點電壓，

同時提高回收電子的收集效率

浸沒式電磁復(fù)合物鏡

物鏡磁場浸沒樣品

實現(xiàn)了低像差高分辨率

產(chǎn)品優(yōu)勢
高速自動化
全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍
大場低畸變
跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變
低壓高分辨
樣品臺減速技術(shù)，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體工業(yè)
生命科學(xué)
材料科學(xué)
地質(zhì)科學(xué)
應(yīng)用案例
芯片（金屬層）/ 116x / BSE / 120 ns
芯片（器件層） / 2000x / BSE / 40 ns
芯片（金屬層）/ 1200x / BSE / 120 ns
芯片（器件層） / 1200x / BSE / 120 ns
生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 116x / BSE / 120 ns
指標HEM6000常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡
像素尺寸(單張)8192*8192
像素點時間120 ns（點/行/幀平均數(shù)：6/2/1）800 ns
像素大小16 nm
拍攝總面積2 mm2

拍攝總時間

25分32秒>140分
產(chǎn)品參數(shù)
關(guān)鍵參數(shù)分辨率1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE；
2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；
加速電壓100 V~6 kV(減速模式)
6 kV~30 kV(非減速模式)
放大倍率66~1,000,000x
電子槍類型高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
物鏡類型浸沒式電磁復(fù)合物鏡
樣品裝載系統(tǒng)真空系統(tǒng)全自動控制，無油真空系統(tǒng)
樣品監(jiān)控樣品倉監(jiān)控水平攝像頭 ； 換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭
樣品最大尺寸直徑4英寸
樣品臺類型電機驅(qū)動3軸樣品臺（*可選配壓電驅(qū)動樣品臺）
行程

X、Y軸：110mm；

Z軸：28mm；

重復(fù)定位精度

X軸：±0.6μm；

Y軸：±0.3μm；

換樣方式全自動控制
換樣時間＜15 min
換樣倉清洗全自動控制等離子清洗系統(tǒng)
圖像采集與處理駐點時間10 ns/pixel
圖像采集速度2*100 M pixel/s
圖像大小8K*8K
探測器和擴展標配鏡筒內(nèi)混合電子探測器
選配低角度背散射電子探測器
鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測器
壓電驅(qū)動樣品臺
高分辨大場模式
樣品倉等離子清洗系統(tǒng)
6英寸樣品裝載系統(tǒng)
主動減震臺
AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu)
軟件語言中文
操作系統(tǒng)Windows
導(dǎo)航光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
自動功能自動樣品識別、自動選區(qū)拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散


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